生命科学院申购离子溅射仪单一来源采购公示

离子溅射仪

日本真空VACCUM MSP-1S

100000.00

日本真空VACCUM MSP-1S 真空泵连接真空室，控制单元提供电压
            浮动样品台设计：使电子流不通过样品而温度上升很少，同时减弱离子碰撞引起的损伤
            工作电压：固定，放射电流可调
            真空系统：台式设计内置旋转泵，转速为20L/min，"O"型密封圈封闭真空系统，
            工作时8-10Pa的仓内压力保证溅射顺利进行。.
            仪器尺寸：长340mm×宽200mm ×高350mm，重量为14kg。
            样品仓尺寸：内径120mm ×高度65mm，材质为硬质玻璃。
            * 靶材尺寸：直径55mm，永磁体内置磁控管型。
            * 样品台尺寸：直径50mm，与阳极分离的浮动装配方式。
             靶材：Au-Pd， Au，Pt-Pd，Pt，用户可根据需要自行选配
            * 靶材到样品台的距离：35mm，附带间距调节用的辅助台。
            电源：AC100V，10A，带接地线的3P插头，有变压器可使用220V电压。